Saķepināts porains metāla filtrselements ir mašīnbūves termins, kas tika izdots 2021. gadā. Tas ir metāla porains filtra elements, kas izgatavots no metāla pulveriem, piemēram, nerūsējošā tērauda, titāna sakausējuma, sakausējuma uz niķeļa bāzes utt., izmantojot aukstu izostatisku presēšanu, augstas -temperatūras vakuuma saķepināšanu un metināšanas procesus. Tas pieder rūpnieciskās filtrēšanas iekārtu precīzām sastāvdaļām. Tas var filtrēt piemaisījumus šķidrumos un gāzēs, sasniegt mikrometra līmeņa precizitāti, un tam piemīt efektīvas filtrēšanas, izturības pret koroziju, augstas mehāniskās izturības, augstas temperatūras izturības un atkārtotas izmantošanas īpašības. Tam nav nepieciešamas līmvielas, un tas var kontrolēt poru struktūru, pielāgojot pulvera daļiņu izmēru un saķepināšanas parametrus. Filtrēšanas precizitāte ir 0,5-200 μm. Šīs ir NAVI Titanium izstrādātās specifikācijas. Ja jums ir atšķirīgas specifikācijas, varat tās nosūtīt mūsu pārdošanas komandai, un mēs sazināsimies ar NAVI Titanium vecāko tehnisko personālu, lai sniegtu jums pielāgotus pakalpojumus.
NAVI Titanium specializējas saķepinātos porainos materiālos, kas ražoti no dažādiem metāla pulveriem. Mēs piedāvājam pielāgotus risinājumus, lai apmierinātu dažādu rūpniecisko lietojumu filtrēšanas, gaisa caurlaidības un plūsmas prasības.
NAVI Titanium risinājums
Sekojošās tehniskās specifikācijas ir paredzētas kā vispārīgas inženiertehniskās atsauces, un tās var pielāgot, lai atbilstu atsevišķu projektu prasībām.
NAVI Titanium® piedāvā dažādas ražošanas{0}}pakāpju iespējas, kas izstrādātas, lai pielāgotos dažādiem pakalpojumu apstākļiem un veiktspējas prasībām. Tālāk esošajā salīdzināšanas tabulā ir apkopotas pieejamās materiālu iespējas, tipiskie raksturlielumi un ieteicamie atlases apsvērumi, sniedzot inženieriem praktisku atsauci, norādot filtrācijas komponentus rūpnieciskiem lietojumiem.
NAVI augstas precizitātes saķepināts porains metāla titāna filtrs: pielāgojami 316 l nerūsējošā tērauda, titāna, niķeļa saķepinātie filtra elementi ar mikronu{1}}līmenī stabilu filtrēšanas precizitāti, bez materiāla noplūdes riska, ideāli piemērots skarbiem darba apstākļiem, piemēram, augsta temperatūra, spēcīga skābe un augsts spiediens. Mēs pieņemam gan mazus-pakešu laboratorijas paraugu pasūtījumus, gan liela mēroga-rūpnieciskus lielapjoma pasūtījumus, garantējot ātru piegādi.
Pieteikums
Thesaķepināts porains metāla filtrselements ar tā galvenajām priekšrocībām — trīs{0}}dimensiju poraina struktūra, izturība pret augstu temperatūru, spēcīga izturība pret koroziju un atkārtojama augstas-temperatūras reģenerācija, aptver desmitiem apakšnozaru, sākot no augstas-stratēģiski jaunām nozarēm līdz tradicionālai rūpnieciskai modernizācijai visos scenārijos. Tās galvenās lietojumprogrammas var iedalīt piecās kategorijās:
Īpaša procesa gāzes termināla attīrīšana: 0,003 μm nanodaļiņu pārtveršana īpašās gāzēs, piemēram, silānā un volframa heksafluorīdā, samazinot daļiņu defektus uz CVD plātņu virsmas par 85% un palielinot iznākumu par 7 procentu punktiem.
Īpaši tīra mitrā ķīmiskā filtrēšana: fotorezista un kodināšanas šķīduma gala attīrīšana, metāla jonu nogulsnēšanās kontrole ppb līmenī, fotorezista plankumu defektu samazināšana par 90%.
Vakuuma sistēmas daļiņu aizsardzība: uzstādīta pie jonu implantācijas iekārtas vakuuma sūkņa ieejas, lai bloķētu dopanta putekļu atpakaļplūsmu no vafeles piesārņošanas. Vakuumsūkņa apkopes cikls ir pagarināts no 6 mēnešiem līdz 24 mēnešiem.
FOUP vafeļu pārsūtīšanas kastes mikrovides cirkulācijas filtrēšana: ilgstoši uzturiet pārsūtīšanas kastes iekšējo tīrības līmeni ISO 1 līmenī, lai izvairītos no daļiņu piesārņojuma vafeļu pārvietošanas laikā.
Iepirkšanās rokasgrāmata
Kvalitātes kontrole (QC)
Noklikšķiniet, lai lejupielādētu
AVI Titanium Exclusive Clean Filtration Solution vērtība:
Pielāgoti nulles nokrišņu filtra elementi mērķtiecīgiem pusvadītāju augstas tīrības scenārijiem.
Mikro formas detaļu pielāgošana, kas piemērota ierobežotām telpām.
Atbalstiet vairāk nekā 100 mazgāšanas un reģenerācijas augstā temperatūrā{1}}.
Palīdziet lietotājiem samazināt izmaksas par ilgtermiņa{0}}filtrēšanas palīgmateriāliem par vairāk nekā 60%.
Pieteikums
Pusvadītāju procedūru tīrības kontrole ir galvenais glābiņš, kas nosaka mikroshēmu ražīgumu, veiktspēju un ilgtermiņa uzticamību. Ar uzlabotajām procedūrām, kas virzās uz 7 nm, 3 nm un vēl vairāk uzlabotiem mezgliem, nanomēroga granulas, metālu joni un ķīmiskie piemaisījumi, kas mazāki par 0,1 μm ražošanas vidē, var tieši izraisīt ķēdes pārtraukumus, īssavienojumus vai veiktspējas novirzes vafeļu ķēdēs. Tradicionālie perkolatoru materiāli vairs nav piemēroti īpaši stingrām tīrības prasībām.
Thesaķepināts porains metāla filtrsbalstās uz trīsdimensiju caur gradientu porainu struktūru, ko veido metāla pulvera saķepināšana augstā temperatūrā{1}}. Ar tā galvenajām priekšrocībām, proti, augstas temperatūras izturību, izturību pret koroziju, kontrolējamu porainību un atkārtotu augstas-temperatūras reģenerāciju, tas ir kļuvis par galveno sastāvdaļu visas pusvadītāju procedūru ķēdes tīrības uzlabošanai. No īpašas gāzes transportēšanas vafeļu ražošanā, īpaši tīra šķidruma attīrīšanas līdz granulu pārtveršanai vakuuma sistēmās, tas vispusīgi konstruē nano līmeņa tīras aizsardzības barjeru un ir neaizstājams kodols perkolācijas elements progresīvās mikroshēmu ražošanas līnijās.
Nanomēroga daļiņu pārtveršanas pielietojums speciālo procedūru gāzu transportēšanā
Desmitiem īpašu procedūru gāzu, piemēram, silāns, amonjaks, argons, volframa heksafluorīds utt., ko izmanto pusvadītāju procedūrās, ir tie materiāli, kas tieši saskaras ar vafeļu litogrāfijas, kodināšanas un nogulsnēšanas pamatprocedūrām. Pat nanometru granulu piemaisījumi gāzē miljardajā līmenī var veidot nāvējošus ķēdes defektus uz vafeļu virsmas. Tradicionālie stiklšķiedras un polimēru perkolatori ir pakļauti šķiedru atdalīšanai un nepietiekamai augstas-temperatūras izturībai- ilgstošas -tīrības speciālo gāzu izraisītas erozijas rezultātā, kļūstot par jauniem piemaisījumu piesārņojuma avotiem. Tomēr perkolatorus pilnībā veido metāla pulveru, piemēram, 316 l nerūsējošā tērauda, augstas-tīrības niķeļa un titāna, saķepināšana augstā-temperatūras laikā, neradot šķiedru atdalīšanās risku. Trīsdimensiju savstarpēji savienotā porainā struktūra var sasniegt vairāk nekā 99,99999% pārtveršanas efektivitāti 0,003 μm nanomēroga granulām, nogriežot granulu piesārņojuma ceļu procedūras gāzē no avota.
Silāna gāzes piegādes cauruļvada beigās ķīmiskās tvaiku pārklāšanas (CVD) procedūrā tas ir tieši uzstādīts reakcijas kameras ieplūdes pozīcijā, lai pilnībā pārtvertu atlikušās nanomēroga silīcija pulvera granulas silāna gāzē, izvairoties no nejauši sadalītu mazu granulu defektu veidošanās uz vafeļu virsmas. Iekšzemes uzlaboto procedūru ražošanas līnijas 12 collu vafelēm darbības dati liecina, ka pēc augstas -precizitātes perkolatoru izmantošanas silāna gāzes attīrīšanai terminālī, granulu defektu skaits uz vafeles virsmas CVD procedūrā samazinājies par vairāk nekā 85%, bet skaidu iznākums tieši palielinājās par 7 procentpunktiem. Atšķirībā no parastajiem perkolatora materiāliem, tā gradienta poru struktūras dizains pakāpeniski samazina perkolatora elementa atvērumu no ieplūdes puses uz izplūdes pusi, kam ir ne tikai īpaši -augsta putekļu noturēšanas spēja, bet arī tiek sasniegta augstākā pārklāšanas precizitāte.
Ilgtermiņā-darbojoties ar augstas plūsmas speciālajām gāzēm, granulu iespiešanās problēmas neradīsies, un nepārtraukts un stabils kalpošanas laiks var sasniegt vairāk nekā 3 gadus, kas ir vairāk nekā 6 reizes vairāk nekā tradicionālajiem polimēru perkolatoriem.
Augstas -tīrības argona aizsarggāzu sistēmā fotolitogrāfijas procedūrā var ne tikai pārtvert cietās granulas gāzē, bet arī izturēt neregulārus momentānus augstas temperatūras triecienus cauruļvadā, neradot problēmas ar materiāla deformāciju un organisko gaistošo vielu izdalīšanos augstās temperatūrās, piemēram, polimēru perkolatori, izvairoties no organiskiem piemaisījumiem un neļaujot virsmu attīrīt no fotopiesārņojuma. izkropļojumi un caurumi fotolitogrāfijas shēmā. Īpaši kodīgajos gāzes cauruļvados, piemēram, volframa heksafluorīdā, ko izmanto kodināšanas procedūrā, tiek izmantoti augstas -tīrības pakāpes niķeļa perkolatori, kas var izturēt ļoti kodīgas fluora gāzes ilgstošu- eroziju. Pats perkolators nerūsīs un neizgulsnēs metālu jonus, pilnībā novēršot risku, ka vafeļu ķēdes var tikt piesārņotas ar metāla joniem.
Īpaši tīru ķīmisku vielu un mitru procedūru šķidrumu dziļa attīrīšana
Pusvadītāju ražošanas mitrās procedūras cilpā dažādu īpaši tīru šķidrumu, piemēram, īpaši tīra ūdens, fotorezista, attīstītāja šķīduma un kodināšanas šķīduma tīrība tieši nosaka vafeles virsmas kvalitāti. Tradicionālās polimēru perkolatoru membrānas ir pakļautas membrānas šķīdināšanai un piedevu nokrišņiem ļoti kodīgās mitrās elektroniskās ķīmiskās vielās, izdalot šķidrumā nelielu daudzumu organisko piemaisījumu un metāla jonu, tieši ietekmējot mikroshēmas ķēdes veiktspēju. Pēc īpašas īpaši tīras elektrolītiskās pulēšanas un pasivācijas apstrādes perkolatora elements kontrolē kopējo metāla jonu izgulsnēšanos ppb līmenī, neievadot īpaši tīrā šķidrumā papildu piemaisījumus. Tajā pašā laikā tas var izturēt ilgstošu-iegremdēšanu augstas-temperatūras mitrās ķimikālijās 180 grādu temperatūrā, kas ir piemērota visu pusvadītāju procedūru mitro ķīmisko vielu attīrīšanas vajadzībām.
Mitrā kodināšanas šķīduma cirkulācijas attīrīšanas sistēmā tas ilgstoši var izturēt stipra skāba un stipra sārma kodināšanas šķīduma koroziju, nepārtraukti pārtvert kodināšanas procedūras laikā radušās metāla kodināšanas produkta granulas, izvairīties no šo granulu atkārtotas nogulsnēšanās defektu veidošanās uz vafeļu virsmas, pagarināt kodināšanas šķīduma cirkulācijas kalpošanas laiku vairāk nekā trīs reizes un ievērojami samazināt ķīmiskās procedūras izmaksas. Atšķirībā no vienreizējās lietošanas polimēru pārklājuma membrānām, reģenerāciju var panākt, izmantojot apgrieztu īpaši tīru ūdens skalošanu un augstas-temperatūras slāpekļa pūšanu. Atšķirība kolācijas plūsmā pēc reģenerācijas, salīdzinot ar pilnīgi jaunu perkolatora elementu, ir mazāka par 2%, un to var atkārtoti reģenerēt un izmantot vairāk nekā 100 reizes, ievērojami samazinot pusvadītāju procedūru kolācijas palīgmateriālu ilgtermiņa visaptverošās izmaksas un līdz minimumam samazinot kolēšanas atkritumu veidošanos atbilstoši pusvadītāju ražošanas nozares zaļās ražošanas prasībām.
Vafeļu nesēju un vakuumsistēmu daļiņu aizsardzība
Vafeļu pārneses nesēji un vakuuma reakcijas kameras pusvadītāju procedūrās ir zonas, kurās vafeles tiek pakļautas visilgāk. Kad sīkas granulas šajās vietās nokrīt uz vafeles virsmas, tās var tieši izraisīt ķēdes atteici. Šajos scenārijos tiek izveidota visaptveroša dinamiska tīras aizsardzības sistēma. FOUP (Front Open Wafer Transfer Box) mikrovides gāzes cirkulācijas sistēmā vafeļu pārvietošanai miniaturizēts apdegums-perkolatorā kalpo kā cirkulējošā gaisa attīrīšanas kodols, nepārtraukti perkolējot aizsarggāzi pārvades kastē un ilgstoši uzturot granulu koncentrāciju pārneses kastē īpaši tīrā ISO 1 līmenī.
Pat ja vafele pārvietošanas procedūras laikā tiek īslaicīgi pakļauta ne īpaši tīrai videi, granulu piesārņojuma problēma neradīsies. Jonu implantācijas iekārtas augsta vakuuma reakcijas kameras izplūdes sistēmā tas ir uzstādīts vakuumsūkņa ieplūdes galā, lai pārtvertu lielu daudzumu augstas -enerģijas metāla granulu un piedevu putekļu, kas rodas jonu implantācijas procedūras laikā. No vienas puses, tas neļauj šīm granulām ieplūst atpakaļ vakuuma kamerā un piesārņot vafeles. No otras puses, tas arī pasargā dārgos vakuumsūkņa lāpstiņas no ātrdarbīgu granulu noārdīšanas un nodiluma, ievērojami pagarinot vakuumsūkņa apkopes ciklu. Uzlabotas procedūras ražošanas līnijas faktiskie darbības dati liecina, ka pēc a instalēšanassaķepināts porains metāla filtrspie jonu implantācijas iekārtas vakuuma ieejas vakuuma sūkņa vidējais apkopes cikls ir pagarināts no 6 mēnešiem līdz 24 mēnešiem.
Tajā pašā laikā granulu fona koncentrācija vakuuma kamerā ir samazinājusies par divām kārtām, un vafeļu granulu defektu skaits jonu implantācijas procedūrā ir samazinājies par 75%. Ķīmiskās mehāniskās pulēšanas (CMP) procedūras pulēšanas šķīduma padeves sistēmā perkolators tiek izmantots, lai pārtvertu liela izmēra -izmēra pulēšanas granulas, kas tiešsaistē agregējas pulēšanas šķīdumā, izvairoties no dziļiem skrāpējumiem, ko rada lielas granulas vafeļu pulēšanas procedūrā, un samazinot pulētās vafeles virsmas raupjumu līdz plakanās virsmas prasībām, kas pilnībā atbilst 0,1 n. FFU ventilatora pārklāšanas bloka galā pusvadītāju ražošanas tīrajā telpā tiek izmantots augstas -temperatūras izturīgs perkolatora elements ar metāla saķepinātu porainu struktūru, kas var izturēt augstas -temperatūras tvaika dezinfekcijas apstākļus darbnīcā un neizraisīs šķiedru pārrāvumu un atdalīšanu pēc atkārtotas augstas temperatūras šķiedru atdalīšanas. Tas var ilgstoši uzturēt stabilu granulu koncentrāciju tīrā telpā, lai atbilstu standartam.
NAVI Titanium straumēšanas pakalpojums
NAVI Titanium pieņem laboratorijas nelielu sērijveida paraugu pasūtījumus un liela mēroga{0}}rūpnieciskos partiju pasūtījumus, nodrošinot stabilu un ātru piegādi. Parastos standarta specifikācijas produktus var saskaņot ar atbilstošiem prioritāriem loģistikas risinājumiem, lai samazinātu ražošanas dīkstāves gaidīšanas risku.
Neregulāras formas un lielu izmēru saķepinātiem porainu metālu filtru izstrādājumiem NAVI Titanium var pieskaņot atbilstošām īpašām iepakošanas shēmām, lai izvairītos no porainās struktūras deformācijas transportēšanas laikā, nodrošinot, ka poru integritāte un komponentu pārslodzes veiktspēja pilnībā atbilst rūpnīcas kvalitātes pārbaudes standartiem pēc ierašanās lietotāja vietā.
NAVI Titanium kā rūpnīca pasaules rūpnieciskajiem klientiem var pielāgoties dažāda veida pārrobežu loģistikas vajadzībām, piemēram, jūras kravu pārvadājumiem, gaisa pārvadājumiem un starptautiskajām eksprespiegādēm. Tas var arī nodrošināt mērķtiecīgus loģistikas transportēšanas risinājumus pusvadītāju ainas filtriem ar ārkārtīgi augstām tīrības prasībām, kas atbilst putekļu -netīram ekskluzīvam noslēgtam iepakojumam, lai transportēšanas laikā izvairītos no papildu piemaisījumu iekļūšanas, kas var ietekmēt produkta veiktspēju.
Varat tieši sazināties ar NAVI Titanium pārdošanas komandu, norādīt savu piegādes adresi, pasūtījuma lielumu un piegādes laika prasības, kā arī iegūt ekskluzīvus pielāgotus loģistikas risinājumus, precīzus loģistikas piedāvājumus un paredzamos piegādes laikus.
Veiktspējas raksturojums
1
Ir laba filtrēšanas veiktspēja (1-400 µm, porainība 30% -70%);
2
Stabila forma un sastāvdaļas ar augstu izturību;
3
Augstas temperatūras izturība (var darboties līdz 700 grādiem);
4
Spēcīga izturība pret koroziju;
5
Augsta triecienizturība un mainīga slodze;
6
Laba elpojamība un atdalīšanas efekts;
7
Labs pretskalošanas efekts, viegla sastāvdaļu reģenerācija utt.;
8
Pārveidošanas efektivitāte ir augsta.
FAQ
Kāds ir saķepinātā porainā metāla filtra paredzamais kalpošanas laiks?
+
-
Kalpošanas laiks ir atkarīgs no filtrēšanas vides, daļiņu slodzes, temperatūras, spiediena, plūsmas ātruma un tīrīšanas biežuma. Pareizi darbojoties un tīrot, filtrs var nodrošināt ilgstošu{1}}pakalpojumu.
Cik bieži filtrs ir jātīra?
+
-
Tīrīšanas biežums ir atkarīgs no piesārņojuma līmeņa un spiediena krituma. Filtrs parasti ir jātīra, kad spiediena starpība sasniedz ieteicamo robežu.
Vai saķepināto metāla filtru var iztīrīt un izmantot atkārtoti?
+
-
Jā. Viena no galvenajām saķepināto poraino metālu filtru priekšrocībām ir to spēja tīrīt un izmantot atkārtoti, ja nav bojāta filtra struktūra un poru tīkls.
Kādas tīrīšanas metodes mēs varam izmantot?
+
-
Atkarībā no pielietojuma var izmantot pretmazgāšanu, ultraskaņas tīrīšanu, gaisa vai gāzes atpakaļ-pulsēšanu, tīrīšanu ar šķīdinātāju vai citas apstiprinātas metodes. Metode jāizvēlas atkarībā no filtra materiāla un piesārņotājiem.
Kā mēs zinām, kad filtrs ir jānomaina?
+
-
Nomaiņa var būt nepieciešama, ja tīrīšana vairs neatjauno nepieciešamo plūsmas ātrumu vai spiediena kritumu vai ja filtram ir mehāniski bojājumi, korozija, deformācija vai pastāvīgs aizsprostojums.
Populāri tagi: saķepināts porains metāla filtrs, Ķīnas porainu metālu filtru ražotāji, piegādātāji, rūpnīca
