NAVI Titanium'ssaķepināts nerūsējošais tēraudsir pulvermetalurģijas materiāls, kas var būt gan porains, gan blīvs. Tas ir izgatavots no iepriekš-leģēta nerūsējošā tērauda pulvera vai daudzslāņu nerūsējošā tērauda sieta, izmantojot presēšanu un augstas{2}}temperatūras vakuuma saķepināšanu. Kā ražotājs ar pilnīgām paš-izpētes un ražošanas iespējām NAVI Titanium ir apņēmies globālajā tirgū nodrošināt integrētus risinājumus augstas-uzticamības nerūsējošā tērauda filtru elementiem. Kopš 2008. gada NAVI Titanium ir piegādājis saķepinātu nerūsējošā tērauda filtrus vairāk nekā 160 rūpnieciskiem projektiem, kas aptver pusvadītāju CMP suspensijas cirkulāciju, īpaši-augstas tīrības pakāpes gāzes piegādi un farmaceitisko filtrēšanu Eiropā, Dienvidaustrumāzijā un Ziemeļamerikā.
NAVI Titanium risinājums
NAVI Titanium piegādā pēc pasūtījumasaķepināts nerūsējošais tēraudssastāvdaļas. Mēs ražojam loksnes, diskus, atlokus un dažādas īpašas formas detaļas. Izgatavotas pulvermetalurģijā ar vienmērīgu porainu struktūru, šīm daļām ir stabila caurlaidība, augsta temperatūra un izturība pret koroziju, kas ir ideāli piemērotas filtrēšanai, gāzu difūzijai, trokšņu samazināšanai un ventilācijai.
Pieteikums
Saķepināts nerūsējošais tēraudsir porains metāla materiāls, kas izveidots, augstā{0}}temperatūras vakuuma saķepināšanas rezultātā 304/316L nerūsējošā tērauda pulvera vienā gabalā. Tā iekšēji savstarpēji savienotā trīs-dimensiju mikroporainā struktūra ļauj precīzi pielāgot poru izmērus no 0,1 līdz 100 μm. Tas apvieno unikālās metāla priekšrocības, tostarp augstu izturību, izturību pret koroziju, augstu -temperatūras izturību, šķiedru neizdalīšanu, tīrāmību un pārstrādājamību, kā arī zemu metāla izskalošanos.
NAVI Titanium saķepinātie nerūsējošā tērauda filtra elementi ir galvenie filtrēšanas komponenti pusvadītāju īpaši{0}}augstas-tīrības gāzes padeves sistēmās. Tos parasti saķepina no 316 l īpaši-augstas-tīrības nerūsējošā tērauda, un tiem tiek veikta elektropulēšana un vakuuma pasivēšana, lai nodrošinātu virsmu bez defektiem un novērstu piemaisījumu izskalošanos. To primārie pielietojumi ir sadalīti trīs{8}}pakāpju sistēmā, kurā ietilpst priekšējā-priekšējā-filtrācija, vidēja-posma precīzā filtrēšana un beigu{12}}filtrēšana: priekšējā-filtrēšana aiztur lielus daļiņu piemaisījumus, rūsu un putekļus pa straumi; Vidējā-pakāpes filtrēšana precīzi noņem submikronu{15}}izmēra daļiņas, lai uzturētu stabilu gāzes tīrību; un beigu{16}}posma filtrācija ir tieši savienota ar procesa kameru, lai nodrošinātu, ka procesā nonākošā gāze atbilst īpaši-augstiem{18}}tīrības standartiem.
Turklāt pusvadītāju lietojumiem, kas saistīti ar korozīvām speciālām gāzēm, šis izstrādājums, -pateicoties tā lieliskajai izturībai pret halogēniem, skābēm un sārmiem,-var ilgstoši stabili darboties gāzu vidē, kuras pamatā ir fluors{2}} un hlors{3}}, un vide to nerūsē un nerada sekundārus piemaisījumus. Salīdzinājumā ar organisko filtru materiāliem, piemēram, PTFE un stikla šķiedru, tā augstā -temperatūras izturība, izturība pret novecošanos un ne-gaistošas īpašības padara to lieliski piemērotu augstas-temperatūras gāzu procesiem, pilnībā atrisinot nozares -plašo gāzes piesārņojuma problēmu, ko izraisa organisko materiālu sadalīšanās augstā temperatūrā{9}}.
Iepirkšanās rokasgrāmata
Kvalitātes kontrole (QC)
Noklikšķiniet, lai lejupielādētu
Ražošanas process
304 vs 316 vs 316L saķepināts nerūsējošais tērauds
| Funkcija | 304 | 316 | 316L |
| Vispārējā izturība pret koroziju | Labi | Augstāks | Augstāks |
| Hlorīda vide | Mērens | Labāk | Labāk |
| Zema{0}}oglekļa pakāpe | Nē | Nē | Jā |
| Ar metināšanu{0}}saistīti korozijas apsvērumi | Standarta | Standarta | Labāk |
| Tipiski pielietojumi | Vispārējā nozare | Ķīmiskā / jūras | Ķīmiskā/pusvadītāja/augstas-tīrības pakāpe |
Pieteikums
CMP virca nav vienkāršs šķidrums, bet gan ļoti sarežģīta nanodaļiņu dispersijas sistēma. Tipiska CMP suspensija parasti sastāv no nano-koloidālā silīcija dioksīda; nano-cērija oksīds (CeO₂); nano-alumīnija oksīds (Al₂O3); oksidētāji (H₂O2, Fe(NO3)3 utt.); pH regulētāji; disperģētāji; virsmaktīvās vielas; inhibitori; un īpaši tīrs ūdens (UPW). Nano-abrazīvie materiāli patiešām nodrošina mehānisko pulēšanas efektu. To daļiņu izmērs parasti tiek kontrolēts no 20 līdz 100 nm, un visai vircas sistēmai jāsaglabā ārkārtīgi augsta dispersijas stabilitāte. Uzlabotam vara CMP lielākajai daļai daļiņu suspensijā jābūt koncentrētām daļiņu izmēra diapazonā no 30 līdz 60 nm. Ja daļiņas sāks aglomerēties, veidojot lielas daļiņas 300 nm, 500 nm vai pat lielākas par 1 μm, tas radīs nopietnus vafeļu virsmas bojājumus. Tāpēc CMP filtru patiesais mērķis nav parastas abrazīvās daļiņas, bet gan neparastās daļiņas, kas nepārtraukti rodas sistēmas darbības laikā.
Nenormālu aglomerātu veidošanās mehānisms
Nepārtrauktas darbības laikā rūpnīcā CMP virca nav statiska sistēma, bet pastāvīgi tiek pakļauta cirkulācijai, griešanai, spiediena izmaiņām un ķīmiskām reakcijām. Šī procesa laikā nanodaļiņas var pakāpeniski agregēties van der Vālsa spēku, elektrostatiskā ekranēšanas efekta vai ķīmiskās vides izmaiņu dēļ, veidojot lielus aglomerātus, kas ir daudz lielāki par sākotnējām daļiņām. Faktori, kas ietekmē aglomerācijas veidošanos, ir cirkulācijas sūkņa liela -ātruma bīde, kas izraisa lokālu disperģētāja atteici; ilgstošs vircas glabāšanas laiks, kā rezultātā samazinās koloidālā stabilitāte; temperatūras izmaiņas, kas maina daļiņu virsmas lādiņu; palielināta metāla jonu koncentrācija vircā, saspiežot elektrisko dubultslāni un izraisot daļiņu agregāciju; un gaiss, kas nonāk cirkulācijas sistēmā, veidojot mikroburbuļus, veicinot daļiņu savienošanu.
Lai gan šo aglomerātu skaits ir ārkārtīgi mazs, to izmērs parasti sasniedz simtiem nanometru vai pat vairākus mikrometrus. Nokļūstot pulēšanas zonā, to izmēri ir daudz lielāki nekā parastās abrazīvās daļiņas, tie rada lokālus augstas{1}}sprieguma punktus starp pulēšanas paliktni un plāksnīti, kas galu galā izraisa virsmas skrāpējumus. Tāpēc CMP filtrēšanas sistēmām ir nepārtraukti jānoņem šīs neparastās daļiņas, neizjaucot nano-abrazīvu parasto daļiņu izmēru sadalījumu.
Tradicionālās polimēru membrānas galvenokārt balstās uz divu{0}}dimensiju membrānu struktūrām virsmas noturēšanai. Filtrēšanas laikā daļiņām ir tendence uzkrāties uz membrānas virsmas, veidojot kūkas slāni, kas izraisa strauju spiediena starpības pieaugumu. Turpretim NAVI titānasaķepināts nerūsējošais tēraudsizmanto trīs{0}}dimensiju savstarpēji savienotu mikroporainu struktūru. Tā iekšējie kanāli ir savstarpēji savienoti, ļaujot daļiņām ne tikai noturēties uz virsmas, bet arī pakāpeniski izplatīties pa kanāla dziļumu, panākot tipisku dziļuma filtrāciju. Šai filtrēšanas metodei ir vairākas būtiskas priekšrocības. Pirmkārt, nano-susspensija vienmērīgi plūst visā poru tīklā, novēršot lokalizētu ātrgaitas{5}}beršanas zonu veidošanos un samazinot filtra materiāla abrazīvo nodilumu. Otrkārt, lielākas aglomerētās daļiņas tiek saglabātas kanālu ieejās, savukārt parastās nanodaļiņas var netraucēti iziet cauri, tādējādi būtiski nemainot vircas daļiņu izmēru sadalījumu.
Treškārt, tā kā piesārņotāji tiek izplatīti visā filtra slānī, nevis koncentrējas uz virsmas, vienā filtrēšanas laukuma vienībā var tikt uzņemts lielāks piesārņotāju daudzums, tādējādi pagarinot filtra kalpošanas laiku. Visbeidzot, šim izstrādājumam ir augsta mehāniskā izturība, kas ļauj tam izturēt tiešsaistes pretskalošanu. Aizturētās daļiņas tiek noņemtas, izmantojot apgrieztu šķidruma plūsmu, kas ļauj atkārtoti izmantot filtra kasetni bez biežas nomaiņas.
Pielietojuma raksturlielumi vara CMP
Vara CMP ir galvenais solis Damascēnas (damascēnas starpsavienojuma) procesā. Tās mērķis ir noņemt vara pārklājumu, vienlaikus saglabājot vara pildījumu tranšejās un caurumos. Vara augstās lokanības un zemās cietības dēļ tas ir jutīgs pret lokālu mehānisku spriegumu CMP laikā, tāpēc vircas daļiņu stāvoklis ir īpaši svarīgs procesa stabilitātei. Vara CMP suspensijā kā primārais abrazīvs parasti tiek izmantots koloidālais silīcija dioksīds, kura daļiņu izmērs parasti tiek kontrolēts no 30 līdz 80 nm, un tās tiek papildinātas ar ķīmiskām piedevām, piemēram, ūdeņraža peroksīdu un benzotriazolu (BTA), lai regulētu oksidācijas un korozijas kavēšanu uz vara virsmas. Saķepināto nerūsējošā tērauda filtru galvenais uzdevums vara CMP ir noņemt neparastas daļiņas, kas vairākas reizes pārsniedz parasto abrazīvo daļiņu izmēru, nevis pārtvert visas daļiņas.
Ja filtra poru izmērs ir pārāk mazs, tas aizturēs lielu daudzumu parasto abrazīvu, mainot vircas sastāvu un samazinot materiāla noņemšanas efektivitāti; ja poru izmērs ir pārāk liels, tas nevar efektīvi noņemt aglomerētās daļiņas. Tāpēc rūpnieciskos lietojumos parasti tiek izmantotas gradienta filtrēšanas struktūras, kas ļauj vircai pakāpeniski noņemt dažāda lieluma piesārņotājus dažādos filtrēšanas posmos, vienlaikus saglabājot relatīvi stabilu nano-abrazīvo daļiņu koncentrāciju. Vēl viena svarīga funkcija ir abrazīvu metāla daļiņu kontrole. Sūkņi, vārsti un caurules vara CMP cirkulācijas sistēmās tiek pakļauti ilgstošai-abrazīvās suspensijas plūsmai, izdalot nelielu daudzumu metāla gružu. Šīs daļiņas parasti ir cietākas par vara virsmu un pulēšanas laikā viegli rada dziļas skrāpējumus.Saķepināts nerūsējošais tērauds, ar savu stabilo trīsdimensiju poraino struktūru, var efektīvi notvert šos metāla gružus ilgu laiku, nemainot poru lielumu lielas-ātruma abrazīvās ietekmes dēļ.
Filtrēšanas prasības volframa CMP
Volframa CMP galvenokārt izmanto volframa spraudņu apstrādei kontaktu spraudņos un plakanajos starpsavienojumos. Salīdzinot ar varu, volframs ir grūtāks, un noņemšanas process galvenokārt balstās uz ķīmiskās oksidācijas un mehāniskās slīpēšanas kombināciju. Tāpēc suspensijai parasti pievieno oksidētājus un augstas-cietības abrazīvus. Volframa CMP filtriem ir jāiztur ievērojami augstāks nodiluma līmenis. Tā kā vircas abrazīvā griešanas jauda ir spēcīgāka, parastie polimēru filtra materiāli pēc ilgstošas darbības ir pakļauti poru paplašināšanai vai membrānas nodilumam. Tomēr šim izstrādājumam ir iebūvēts saķepināta metāla karkass, kas spēj izturēt nepārtrauktu ātrdarbīgu-berzi un ilgstoši uzturēt filtrēšanas precizitāti. Volframa CMP ir ļoti jutīgs pret metāliskiem piemaisījumiem.
Ja pašā filtrā ir metināšanas atlikumi, nepietiekami pasivētas vietas vai metāla jonu nogulsnes, tas var ietekmēt ķīmisko reakciju uz volframa virsmas. Tāpēc augstākās -saķepināšanas nerūsējošā tērauda elementos parasti tiek izmantots 316 l zema-sēra nerūsējošā tērauda pulveris, kas tiek pakļauts elektropulēšanai un īpaši tīrai skābes pasivācijai, veidojot stabilu ar hromu- bagātu oksīda plēvi uz filtra elementa virsmas, tādējādi samazinot dzelzs, niķeļa un citu elementu veidošanās risku.
Daļiņu kontroles loma STI CMP (Shallow Trench Isolation CMP)
STI (Shallow Trench Isolation) CMP galvenokārt izmanto silīcija oksīda materiāla noņemšanai pēc tranšejas aizpildīšanas, panākot elektrisko izolāciju starp tranzistoriem. Tā kā STI tieši ietekmē turpmāko vārtu veidošanos, tās planarizācijas kvalitātes prasības ir ārkārtīgi augstas. STI suspensijas parasti izmanto nano-cērija oksīdu (CeO₂) kā galveno abrazīvu. Tās daļiņām ir augsta ķīmiskā aktivitāte un tās var sinerģiski reaģēt ar silīcija dioksīda virsmu, uzlabojot pulēšanas efektivitāti. Cērija oksīda suspensijas īpašība ir tāda, ka daļiņām ir spēcīgs virsmas lādiņš, kas padara tās pakļautas aglomerācijai pH vai jonu koncentrācijas izmaiņu dēļ.
Ja pulēšanas zonā nokļūst aglomerētas daļiņas, tās var ne tikai radīt skrāpējumus, bet arī izraisīt pārmērīgu-lokalizēto rievu zonu noņemšanu, izraisot novirzes izolācijas struktūras izmēru struktūrā. Šis filtrs nepārtraukti noņem aglomerātus, izmantojot dziļo filtrēšanu. Vienlaikus, pateicoties tā vienmērīgajam iekšējam poru plūsmas laukam, tas samazina vircas lokālo bīdi filtrēšanas laikā, palīdzot uzturēt cērija oksīda daļiņu izkliedi. Tas ir svarīgāk STI CMP, nevis vienkārši uzlabot filtrēšanas precizitāti, jo stabilas abrazīvās dispersijas uzturēšana tieši uzlabo pulēšanas viendabīgumu.
FAQ
Pie kāda diferenciālā spiediena jāveic tīrīšana? Kad ir jānomaina NAVI Titanium filtra elements?
+
-
Sākotnējais diferenciālais spiediens normālai NAVI Titanium filtra elementa darbībai ir 0,02–0,06 MPa; kad diferenciālais spiediens paaugstinās līdz 0,12–0,25 MPa, ieteicams apturēt sistēmu un veikt reģenerācijas tīrīšanu. Ja pēc vairākkārtējas tīrīšanas diferenciālais spiediens paliek virs 0,35 MPa, plūsma nepārtraukti samazinās vai rodas precīza noplūde, filtra elements ir jānomaina.
Kāda ir NAVI Titanium filtra elementa standarta nomaiņas procedūra?
+
-
Apturiet sistēmu un atbrīvojiet spiedienu → iztukšojiet barotni → izjauciet filtra kasetni un iztīriet dobumu → pārbaudiet un nomainiet novecojošos O-gredzenus/blīves → uzstādiet filtra elementu atbilstoši plūsmas virzienam → vienmērīgi pievelciet gala vāciņus pa diagonāli → lēnām palieliniet spiedienu zemā spiedienā un veiciet izmēģinājuma darbību, un pirms oficiālas darbības pārbaudiet, vai nav noplūdes.
Filtra elementu kalpošanas laiks un utilizācijas standarti?
+
-
Tīros ekspluatācijas apstākļos un pienācīgi apkopjot to var reģenerēt 25–35 reizes, un tā kalpošanas laiks ir 3–5 gadi. Ja rodas korozijas bedres, strukturālas deformācijas, pastāvīgs mikroporu aizsprostojums vai blīvējuma virsmas nodilums, nomaiņa ir obligāta.
Vai NAVI Titanium saķepinātie nerūsējošā tērauda filtru elementi atbilst ES vides standartiem?
+
-
Visi ir izgatavoti no 316 l materiāla bez ķīmiska pārklājuma, nesatur SVHC augstas -bīstamības vielas, atbilst REACH un RoHS prasībām un darbības laikā neizdala metāla jonus vai šķiedras. Rūpnīcas auditiem var izsniegt atbilstības sertifikātus.
Kā rīkoties ar izmestiem NAVI Titanium filtra elementiem?
+
-
Tie ir pilnībā metāliski pārstrādājami materiāli un netiek uzskatīti par bīstamiem atkritumiem. Tos var vienādi savākt pārkausēšanai un otrreizējai pārstrādei, ievērojot ES aprites ekonomikas noteikumus un atvieglojot klientiem vides darbības un apkopes uzskaiti.
Populāri tagi: saķepināts nerūsējošais tērauds, Ķīnas saķepinātā nerūsējošā tērauda ražotāji, piegādātāji, rūpnīca
